14年に発生した労働災害になります。分類としては爆発です。
https://www.mmc.co.jp/corporate/ja/news/press/2014/pdf/14-0612a.pdf
シリコン製造施設において熱交換器を洗浄作業中、突如爆発が発生した事故になります。
5名の作業者の方が亡くなられた痛ましい事故です。
原因となった物質はクロロシランポリマーの加水分解生成物なのですが、
これが生成した経緯としては、
①製造工程にてクロロシランポリマーが生成、熱交換器に堆積
②解放点検のため、加湿窒素でブロー
であり、事前の検討でこれを評価するのは相当難しいように感じました。
